线性模组( linear unite)是指在自动化工业领域中对能够实现直线运动的装置的统称，也称为定位模组，因此其定位精度的高低至关重要，在定位精度测量领域，激光干涉仪是最有效的手段。

　　SJ6000激光干涉仪线性定位精度测量配置主要由 SJ6000 主机、EC20 环境补偿单元、线性镜组、SJ6000 静态测量软件等组件构成，可满足 0~80m 范围内的线性测量。

　　SJ6000 激光干涉仪静态测量软件可以将线性测量结果生成指定的误差补偿表，该表涵盖了各个测量点的补偿值，运动控制系统制造商允许通过修改指定运动轴的补偿值来消除该运动轴的位置误差，精确的补偿，可以有效地降低运动轴的位置误差。

　　线性测量中目标位置的数据采集有基于位置的目标采集和基于时间的目标采集两种方式，普遍采用基于位置的目标采集方式，即：被测运动轴需设定若干个等距的定位点，当运动轴移动到设定的定位点时，需设置停留时间，以供 SJ6000激光干涉仪测量软件进行当前点的数据采集。